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標準ガス・高純度ガス圧力調整器 S-LABO SL SL-1XX-5X6G-1414 日酸TANAKA [402583]

標準ガス・高純度ガス圧力調整器 S-LABO SL SL-1XX-5X6G-1414 日酸TANAKA [402583]

販売価格: 48,980円(税込)

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商品詳細

日酸TANAKA(株) S-LABO S1シリーズ

特長
・多種類のガスに対応可能な本体材質ステンレス製
・外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用
・純度維持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産
・純度維持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用
・出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵

用途:分析、供給における高純度ガス供給用(本体SUS製、一次側低圧用)。

商品スペック
仕様・規格
・型式:SL-1XX-5X6G-1414
・出入口接続:1/4”スウェージロック
・流体:標準ガス、ゼロガス、高純度ガス
・1次側使用圧力(MPa):1(圧力計なし)
・標準流量(L/min):260L/min(nor)(P1=1MPa,P2=0.6MPa,使用ガス:N2ガス)
・2次側圧力計(MPa):1.0
・2次側使用圧力(MPa):0.02〜0.6
・材質:SUS316L本体: ステンレス(SUS316L)
・質量・質量単位:1.5kg

使用条件:使用温度範囲:-10〜40℃

注意事項
・半導体用ガスにはご使用になれません。